今回は、XYZ三軸運動と閉ループ容量センサを備えた圧電ナノポジショニングプラットフォームとその対応するコントローラを紹介した。キャパシタの動作レベルはP12.XYZ100C、コントローラはE00.D11ALである。
P12.XYZ100C圧電ナノポジショニングテーブル
P12.XYZ100C圧電ナノポジショニングテーブルの3軸運動は直列接続を採用している。設計の過程で、体積はできるだけ小さくして、その体積は80×80×45 mm ^ 3だけです。中心にはφ40 mmの円形の貫通孔があり、光を透過するか構造を集積し、配置するのに適している。
閉ループ容量センサ
P12.XYZ100C圧電ナノポジショニングプラットフォームは容量式センサーを用いて閉ループ制御を行い、内部には3つの容量式センサーがあり、X、Y、Z軸の変位をリアルタイムで測定し、フィードバックすることができる。
静電容量センサは非接触測定である。コンデンサプローブと被測定面との距離の変化、すなわち圧電ナノポジショニングプラスチックの移動、コンデンサプローブとコンデンサプローブとの距離の変化、そしてコンデンサセンサ出力の電圧値の変化をもたらす。電圧値はナノポジショニングテーブルの変位に対応する。
非接触測定とは、センサと移動面との間に接触がなく、変位台の移動に追加の影響を与えず、非常に良い精度と長期安定性を確保でき、応答速度が非常に速いことを意味する。
非磁性
P12.XYZ100C圧電ナノポジショニングプラットフォームのもう一つの重要な特性は非磁性である。非磁性材料と非磁性加工技術を採用し、製品自体がアプリケーションのシステム環境に追加の磁場を与えないようにするため、非磁性環境を必要とするアプリケーションに最適です。
製品測定曲線
1）せいひんそくていきょくせん
測定の結果、P 12.XYZ 100 C圧電ナノポジショニングプラットフォームのステップアップ時間は100 ms未満であることが分かった。
2）変位と電圧曲線
P12.XYZ100C圧電ナノポジショニングテーブルの電圧と変位曲線を下図に示す。閉ループ制御では、駆動制御電圧はその変位に線形に相関する。130 V駆動電圧では、変位は90μmに達することができる。
3）反復曲線
異なるパーセンテージストロークでは、繰り返し位置決め精度が異なり、これは使用する圧電セラミックス、フレキシブルヒンジ構造などの特性と関係がある。測定結果により、P 12.XYZ 100 C圧電ナノ位置決めプラットフォームの繰り返し位置決め精度は全変位範囲で0.027%より優れ、10%ストロークで0.014%F.Sより優れている。
適用＃テキヨウ＃
P12.XYZ100C圧電ナノポジショニングテーブルは高分解能、高精度、非磁性材料の選択を有し、超分解能顕微鏡、スクリーニング、共焦点顕微鏡、バイオテクノロジーなどに非常に適している。
技術データ
メモ：上記パラメータは圧電コントローラE 00.D 11 ALにより測定されます。
E00.D11AL圧電制御器
P12.XYZ100C圧電ナノポジショニングステーションはE 00.D 11 AL圧電コントローラによって駆動される。
E00.D11AL圧電コントローラは、アナログ信号やデジタル信号で制御できるキャパシタ閉ループの3チャネル出力圧電コントローラです。LCDキーボード制御モジュールがあり、RS-232、RS-422、USBなどのインタフェースを介して上位機と通信し、ソフトウェア制御を行うこともできます。
フロントパネルの紹介
技術データ
E00.D11AL圧電制御装置の基本技術パラメータは以下の通りである。容量式閉ループ圧電ナノポジショニングプラットフォームのために設計されています。P 12.XYZ 100 C圧電ナノポジショニングプラットフォームを駆動できるだけでなく、他の容量閉ループ圧電ナノポジショニングプラットフォームとも互換性があります。
