温度の変化は圧電ナノポジショニングプラットフォームの性能に大きく影響し、例えば、静電容量のパラメータ値は温度の上昇に伴って増加し、高すぎる温度は性能と寿命を低下させる。同様に、圧電ナノポジショニングプラットフォームの静電容量も温度の上昇に…
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