CoreMorow XD 731 XYZ真空圧電局

通常、圧電ナノポジショニングプラットフォームは一般的な室内条件のために設計されているが、多くのユーザーが真空環境でこのプラットフォームを使用する必要がある。例えば、研究が真空条件に基づく必要がある場合、正確な位置決めのための対応する圧電ナノ位置決めプラットフォームが真空環境で働く必要がある対応する真空実験環境を構築する必要がある。圧電ナノポジショニングプラットフォームが真空環境で正常に動作し、真空度を変更するなど真空環境の真空度に悪影響を与えないように、摩耗、漏れ、または過剰な熱を発生しないようにしなければならない。

真空度に応じて、真空環境は少なくとも真空と超高真空に分けることができる。10 ^-6 barの真空度は中真空環境、10 ^-9 barは超高真空環境である。

XD 731シリーズの圧電ナノポジショニングプラットフォームは真空応用のために設計され、真空互換性は10 ^-7 mbarに達する。ナノスケールのX、Y、Z方向を同時に調整することができ、優れた柔軟性があります。

特徴

•XYZ運動

•真空互換性

•コンパクト

•オプションのフィードバックセンサー

適用＃テキヨウ＃

•XYZ真空高速スキャン

•ナノポジショニング

•バイオテクノロジー

•量子測定

制御電圧と変位曲線

XD731真空XYZ圧電局は閉ループセンサを備えることができる。測定後、閉ループ条件下での駆動制御電圧と実際の変位との間の曲線を下図に示す。

きょうめいしゅうはすう

試験の結果、XD731閉ループ真空圧電段の空荷重共振周波数は400 Hzより大きく、250 g負荷下の共振周波数は150 Hzより大きいことが分かった。

真空版カスタム設計

CoreMorrowは各種真空圧電製品のカスタム設計を受けている。

ユーザが提供する真空パラメータ要件と真空条件に応じて、CoreMorrowはフレキシブル曲げ機械に基づく1次元または多次元圧電プラットフォームを設計することができる。設計の過程で、私たちは標準パラメータを確保するだけでなく、真空条件下の材料選択を重視して、材料が真空環境に不利な影響を与えないことを確保して、そして各軸の運動制御精度を最適な状態に達することを確保します。

真空実験環境の空間は通常限られているが、CoreMorrowは各段階のパラメータや材料を最適化するだけでなく、外観やサイズも最適化する。