ナノリソグラフィは新しいナノパターン複製方法である。その本質は、従来の金型複製原理をマイクロ製造分野に応用することである。まず、コンピュータはBMP画像を階調画像に変換し、次に2次元圧電スキャナを使用してめっきレンズを駆動して、読み取った画像情報を最適化します。同時に、レーザと圧電スキャナを制御して画像のナノポジショニング処理を完了します。ナノリソグラフィ技術はナノ構造を製造する鍵であり、広い応用の将来性がある。
CoreMorrow P12シリーズXY圧電スキャナーを使用すると、めっきレンズを駆動して画像情報の読み取りを最適化することができ、同時にレーザーと圧電スキャナーを制御し、両者は協力して画像のナノ精度処理を完了することができる。
P12.XY100圧電スキャナ
P12.XY100はXY圧電リニアスキャナであり、高信頼性圧電アクチュエータを内蔵している。それは良好な運動線形を持っている。スキャナーの開口部は25 mmまたは35 mmから選択できます。
オン/クローズカーブ
へいループ線形
技術データ
型番：P12.XY100
可動軸：XY
長距離歩行range@120V：80μm/軸
長距離歩行range@150V：100μm/軸
センサ：SGS
穴径：dst 25/dst 35 mm
閉ループ/開ループ分解能：7/4 nm
閉ループ線形度：0.1%F.S。
再現性：0.05%F.S。
ピッチ/ヨー/ロール：25/8 N
剛性：0.2 N/μm
空荷重共振周波数：X 180/Y 230 Hz
閉ループ/開ループ空荷重ステップ時間：15/0.8 ms
負荷能力：0.7 kg
容量：1.8μF/軸
材料：鋼、アルミニウム
質量：200g
