半導体産業と製造プロセスの発展に伴い、ウェハ品質検査は効率と精度に対してより高い要求を提出した。欠陥を正確に捕捉することは非常に重要であり、特にウエハは半導体チップ製造の基本部品である。ウエハ品質の検出は超精密機器の測定に高度に依存してい…

圧電投影スキャナーとは？ 圧電対物レンズスキャナは、対物レンズフォーカス顕微鏡のために設計されています。非回帰可撓性ヒンジ並列操舵機構を採用し、補償量が小さく、焦点安定性が高い。顕微鏡検査/測定または観察装置付きの圧電対物レンズスキャナは、…

プリロード圧電アクチュエータは圧電効果を利用して変位を発生する装置である。圧電セラミック材料、金属電極、パッケージ材料から構成されています。圧電セラミック材料は電界によって変形し、変位を生じる。金属電極は、圧電セラミックスの変形を制御する…