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容量変位測定検証を搭載した圧電制御装置が圧電制御装置と呼ばれるのは、本質的に圧電制御装置であるからだ。しかし、通常の圧電制御とは異なり、容量変位測定モジュールも搭載されている。マイクロスポーツ製品の変位測定に使用でき、測定範囲は一般的に0〜200μmである。圧電コントローラの機能と用途は次の通りです。

機能1：閉ループ圧電ナノポジショニングシステムの変位検証

閉ループ圧電ナノ測位システムは変位閉ループサーボ制御が可能な圧電ナノ運動測位システムである。圧電アクチュエータの運動変位をリアルタイムでフィードバックし、制御することができます。このシステムでは、圧電コントローラは、電力増幅器モジュール、閉ループサーボモジュール、電源モジュールからなる閉ループ圧電コントローラである。上位機制御モジュールはオプションです。

閉ループ圧電制御装置に容量変位測定モジュールを搭載した後、圧電ナノ測位システム自体の変位を測定することができる。流れは下図のようになります。

機能2：開環圧電ナノポジショニングシステムの変位を検証するために使用する

開環圧電ナノ測位システムは、基本的な運動制御を行うことができる圧電ナノ運動測位システムである。圧電アクチュエータの運動変位を制御することができます。このシステムでは、圧電コントローラは閉ループ圧電コントローラであり、電力増幅器モジュール、電源モジュール、オプションの上位機制御モジュールから構成される。

開環圧電制御器に容量変位測定モジュールを搭載すると、圧電ナノ測位システム自体の変位を測定することができる。流れは下図のようになります。

機能3：圧電ナノポジショニングシステムとしての閉ループ制御

開環圧電ナノポジショニングシステムに容量変位測定モジュールを備え、圧電コントローラのサーボ制御として、システム全体を閉ループ制御にすることができる。また、容量式変位測定モジュールと統合された圧電コントローラは、「機能2」のように圧電ナノ測位システム自体の変位を測定することもできます。この2つのプロセスを下図に示します。

機能4：他装置の変位測定

他の圧電運動デバイスを使用して、変位範囲が0 ~ 200μmの場合は、この容量式圧電コントローラを使用して測定することもできます。