N50.U0Cシリーズは1次元θx軸偏向圧電偏向段であり、その負荷能力は60 kgに達することができ、偏向角度は±0.25 mradである。それは解像度が10 nradに達する容量式閉ループセンサを採用し、20 kg負荷下で高周波動作することができる。大荷重偏向運動実験に最適…

圧電ナノポジショニングシステムはナノスケールの分解能とポジショニング精度を有し、各種の関連機器と機械設備に集積し、高精度なナノスケールポジショニングと移動を実現する。圧電ナノポジショニングプラットフォームの基本的な動作原理と性能を理解し、…