今回は、XYZ三軸運動と閉ループ容量センサを備えた圧電ナノポジショニングプラットフォームとその対応するコントローラを紹介した。キャパシタの動作レベルはP12.XYZ100C、コントローラはE00.D11ALである。 P12.XYZ100C圧電ナノポジショニングテーブル P12.X…
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