CoreMorrow XYZ大ストローク圧電ナノポジショニングテーブル

精密加工製造、マイクロ電子工学、光学精密工学などの現代科学技術の急速な発展に伴い、精密位置決めと加工技術に対してますます高い要求を提出した。ナノサイズの位置決め精度だけでなく、大ストロークを実現できる処理や位置決め技術が求められている。CoreMorrowは、その大ストローク、高精度、高速応答で一連の大ストローク多次元運動プラットフォームを開発設計した。精密加工、走査顕微鏡などの分野に広く応用されている。

P11.XY200Z300

P11.XY200Z300は圧電スタックを駆動源とし、増幅機構を採用した3次元線形運動プラットフォームである。これは圧電ヒンジとフレキシブルヒンジを組み合わせたナノポジショニングシステムである。ミリ秒レベルの応答とナノスケールの位置決め精度を実現することができます。

・XYZ運動

・ストロークX 180μm、Y 180μm、Z 300μm

・分解能XY 2 nm、Z 4 nm

・200 gまで負荷

P60.XYZ200

P60.XYZ200は無摩擦フレキシブルヒンジガイド機構を採用し、高性能圧電スタックを内蔵し、200μm変位を実現できる。有限要素シミュレーション分析方法を用いて可撓性ヒンジ構造を最適化する。このフレキシブル誘導システムは高い誘導精度と良好な制御精度を有する。分解能と安定性はナノスケールに達することができ、位置決め安定時間はミリ秒レベルしかない。

・XYZ運動

・ストローク200μm/軸

・分解能8 nm

・300 gまで負荷

P15.XYZ300

P15.XYZ300は高速、高精度の3軸走査位置決めプラットフォームであり、直線度が非常に高い。中心貫通孔は66*66 mm、ストロークは300μm/軸で、内部には有限要素分析（FEA）最適化されたワイヤカットフレキシブルヒンジ構造を採用している。有限要素解析により、線形および角度ジッタを最小限に抑えるように設計されます。