随着半导体产业的不断发展，半导体芯片制造产业不断先进，其工艺水平直接决定了芯片生产的质量和效率。薄膜沉积是芯片制造的核心工艺之一，是决定薄膜性能的关键。其作用是通过物理或化学方法在晶圆表面反复沉积金属薄膜（铝、铜、钨、钛等）和氧化物（二氧…

モジュラー型E 70圧電セラミックコントローラは、高出力、低消費電力、高帯域幅、低リップルノイズを有するコントローラである。専用演算増幅器回路を採用し、高電圧、高電流の出力能力を保証し、そしてセンシングサーボモジュールを最適化することにより、P…

CoreMorrow N56リニア圧電モーターは圧電マイクロ駆動技術を採用し、圧電マイクロ変位アクチュエータを利用して高精度の位置決めと運動技術を実現した。圧電アクチュエータの電界作用下の微変形を機械的構造変換することにより、微運動線形ミリ段ストローク…

圧電モーターは圧電セラミックスをモーター駆動とし、特殊な機械構造設計を採用し、圧電セラミックスドライバの微小運動をミリ線または360°角運動に変換する。運動方式に応じて、モーターはリニア圧電モーターと回転圧電モーターに分けることができる。現在…

CoreMorrow圧電雲台は圧電セラミックス駆動により正確な角度調節を行い、内部設計のフレキシブルヒンジ平行構造は戻り誤差がなく、製品が高い偏向精度と安定性を確保し、θx、θy方向に傾斜してZ方向に回転することができ、同時に線形運動を行うこともでき、応…