圧電ナノポジショニングシステムはナノスケールの分解能とポジショニング精度を有し、各種の関連機器と機械設備に集積し、高精度なナノスケールポジショニングと移動を実現する。圧電ナノポジショニングプラットフォームの基本的な動作原理と性能を理解し、お客様の用途に適した圧電ナノポジショニングプラットフォームを選択します。
圧電ナノポジショニングフェーズとは？
圧電ナノポジショニングプラットフォームは圧電セラミックスを駆動源とし、フレキシブルヒンジ機構を結合してX/Z/XY/XZ/XXYZ軸の正確な運動を実現する圧電プラットフォームである。最大運動範囲は375μmに達することができる。体積が小さく、摩擦がなく、応答速度が速いという特徴がある。ナノスケールの分解能と位置決め精度を実現し、極めて高い信頼性を持つ高精度センサを搭載しています。圧電ナノポジショニングプラットフォームは精密ポジショニングの分野で重要な役割を果たしている。
圧電ナノポジショニングプラットフォームの特徴
高解像度
圧電ナノポジショニングプラットフォームは摩擦のない可撓性ヒンジガイド機構を採用し、サブナノメートル分解能を実現することができる。CoreMorrow N 60.Xシリーズ圧電ナノ測位台は、E 53シリーズ圧電制御を採用し、0.5 nmのステップ分解能を実現することができる。
バリア力が大きい
CoreMorrow高速工具サーボ台は大閉塞力圧電セラミックスを採用し、最大力は数千ニュートンに達し、精密加工などの分野に広く応用されている。
迅速な応答
圧電ナノポジショニングプラットフォームは圧電セラミックによって駆動され、応答時間はミリ秒に短縮できる。CoreMorrow N65シリーズナノポジショニングステーションには、大電力E00/E 01シリーズの圧電コントローラが搭載されており、1.5msのフルステップ時間を実現することができます。
摩耗なし
この段階では、有限要素シミュレーション解析を用いて可撓性ヒンジ構造を最適化する。フレキシブル誘導システムは超高い誘導精度を有し、高剛性、高荷重、摩耗なし、メンテナンスフリーなどの特徴を有する。
でんあつくどう
CoreMorrow圧電ナノポジショニング製品の標準駆動電圧は0 ~ 120/150 Vで、375μmの最大変位を発生することができる。同時に、必要に応じて他の電圧駆動バージョンをカスタマイズすることができます。
運転制御システム
CoreMorrow圧電制御器はアナログ入力またはデジタル入力によって制御され、電力増幅機能、出力電圧と出力周波数を調整できる。さまざまなチャネルと機能を選択可能で、さまざまな圧電製品を駆動することができ、アプリケーションのニーズに応じてカスタマイズサービスを提供することもできます。
適用＃テキヨウ＃
光ファイバ端検出
圧電ナノポジショニングテーブル駆動レンズは正確な運動を行い、顕微鏡と協力して光ファイバ端面の品質に対する干渉検出実験を完成した。
精密ターニング
高速工具ロケータの超精密製造技術を利用して、光学非球面、自由曲面、微細構造、アレイ素子と金型のナノスケール超精密加工を実現する。
AFM
閉ループナノポジショニングステーションと原子間力顕微鏡の結合は375μmの走査範囲を実現でき、分解能はサブナノメートルで、応答時間はサブミリ秒に達することができる。
レーザ平面干渉計
Z方向圧電ナノポジショニングステーションの機能は、ナノスケールの微小運動を行い、被測定物の位置を正確に調整することで、対応するストライプの幅と位置を変更し、より正確な表面測定を実現することである。
