P60.Z500は圧電アクチュエータを駆動源とし、増幅機構のZ軸運動の大ストローク線形微小運動プラットフォームである。これは圧電素子とフレキシブルヒンジを結合したナノポジショニングシステムである。ミリ秒レベルの応答とナノスケールの位置決め精度を実現することができ、閉ループの正確な位置決め制御のために高精度センサを選択することができる。この製品は干渉中の光路長補正、顕微鏡または走査応用中のサンプル位置決めなどの位置決め応用に非常に適している。干渉、顕微鏡、精密加工などの分野に広く応用されている。
P60.Z500圧電局は機構増幅の設計原理を採用し、500μmの運動行程を実現することができる。優れた構造は2 kgの荷重を担持することができ、共振周波数を290 Hzまでアンロードすることができる。
ロードステップ時間
P60.Z500 Sが350 gロードされると、ステップ時間は200msである。
技術データ
型番：P 60.Z 500
可動軸：Z
ストローク範囲（0 ~ 120 V）：400μm
ストローク範囲（0 ~ 150 V）：500μm
閉ループセンサ：SGS
オフ/オン解像度：20/5 nm
閉ループ線形：0.1%F.S。
閉ループ繰り返し性：0.05%F.S。
空荷重共振周波数：290 Hz
負荷：2 kg
容量：28.8μF
材料：鋼、アルミニウム
質量（ケーブルなし）：0.65 kg
