CoreMorrow圧電式ナノ運動測位システム

CoreMorrowはナノレベルの精密位置決め製品の開発、生産、販売に集中している。10年以上の蓄積と発展を経て、CoreMorrowは圧電ナノ運動制御などの分野で豊富な研究成果と応用経験を得て、国内外の顧客に圧電アクチュエータ、圧電ナノポジショニングステーション、圧電偏向テーブル/FSM、圧電コントローラなどは、サブナノ解像度とナノスケールの位置決め精度を実現でき、精密位置決め、航空宇宙などの分野に広く応用されている。

ピエゾアクチュエータ

CoreMorrow圧電アクチュエータはカスタマイズされた運動装置に統合するのに最適で、ナノスケールの分解能を提供し、ストロークは260μmに達し、出力は5000 Nに達し、マイクロ秒の応答時間は、工作機械、能動的防振または適応機械に非常に適している。同時に、体積が小さく、共振周波数が高いという特徴があり、走査顕微鏡、レーザー同調、ビーム偏向、フィルムクランプまたはリソグラフィーに適している。

ピエゾ電気段階

高精度圧電ナノポジショニングプラットフォームは圧電セラミックスを駆動源とし、フレキシブルヒンジ機構を結合し、X、Z、XY、XZとXYZ軸の正確な運動を実現し、ナノ分解能とポジショニング精度を実現することができる。開口バージョンは透光精密光学装置、生物顕微鏡及び光学顕微鏡イメージングシステムの位置決め及び調整に適している。

圧電ヘッド/傾斜テーブル/FSM

圧電雲台/FSMと圧電セラミックスの可撓性ヒンジを結合し、正確な角度調節を実現し、単軸または多軸角偏向運動を実現し、補償が小さく、運動精度と安定性が高く、分解能がサブミクロンラジアンであり、レーザービーム走査とレーザー通信などの応用に適している。

ピエゾコントローラ

CoreMorrowは、正確なマッチング制御を実現するために、さまざまなアプリケーションとパラメータ要件に応じてさまざまなドライバコントローラを提供します。コントローラはアナログ入力またはデジタル入力制御を採用し、電力増幅機能、出力電圧と出力周波数を調整でき、圧電運動製品の運動速度と幅を制御する。さまざまな制御方式とチャネル番号はオプションで、異なるパラメータとアプリケーション要件に基づいてカスタマイズサービスを提供することができます。