P 60シリーズZ方向真空圧電ナノポジショニングテーブル

P60.Z250は1次元Z移動圧電ナノポジショニングプラットフォームである。プラットフォーム内部には摩擦のない可撓性ヒンジガイド機構と一体化構造設計を採用している。機械増幅駆動原理を採用し、高性能圧電セラミックスを内蔵し、Z方向250μm変位を実現できる。圧電位置決め台は非常に高い制御精度、分解能と安定性を有し、ナノメートル級に達することができ、位置決め安定時間はミリ秒級である。このプラットフォームにはオプションの真空互換バージョンがあり、プラットフォーム内のコンポーネントは真空応用に適しており、真空度は1×10 ^(-5)mbarに達することができる。

高い位置決め精度を持つ閉ループバージョン

P60.Z250は開ループと閉ループバージョンを有する。閉ループバージョンでは、高精度センサを使用してリアルタイム位置検出とフィードバックを行います。閉ループ圧電制御器は、リアルタイムで正確に変位を調整し、ナノスケールの正確な位置決め制御と優れた線形、運動、安定性を実現するように構成することができる。