精密加工製造、マイクロ電子工学、光学精密工学などの現代科学技術の急速な発展に伴い、精密位置決めと加工技術に対してますます高い要求を提出した。ナノサイズの位置決め精度だけでなく、大ストロークを実現できる処理や位置決め技術が求められている。Cor…

生産技術の更新と応用の拡大に伴い、PZTは広く人々の視野に入り、その知名度も上昇している。 PZTは逆圧電効果を有し、すなわち電圧信号の作用下で、電圧信号に対応する微小変位を生成することができ、そしてナノスケールの高分解能とマイクロ秒レベルの応答…