P60.Z250は1次元Z移動圧電ナノポジショニングプラットフォームである。プラットフォーム内部には摩擦のない可撓性ヒンジガイド機構と一体化構造設計を採用している。機械増幅駆動原理を採用し、高性能圧電セラミックスを内蔵し、Z方向250μm変位を実現できる…
引用をストックしました
引用するにはまずログインしてください
引用をストックできませんでした。再度お試しください
限定公開記事のため引用できません。