P12A.XY200Z100圧電局はサンプル較正応用の要求を完全に満たしている。45 mm×45 mmの大きな開口部により、対物レンズをサンプルの下に直接配置することができます。統合された閉ループフィードバックセンサは長期的な高精度サンプル調整を確保し、統合された構造は多次元運動を結合しないようにする。
特徴
・3 D圧電サンプルロケータ
・開口45 mm×45 mm
・位置決め精度が高い
・X 250/Y 250/Z 100μmの運動範囲
・迅速な応答
閉ループ位置決め精度が高い
P12A.XY200Z100シリーズ圧電ナノポジショニングプラットフォームは高分解能センサーを搭載し、リアルタイムで位置を検出し、圧電コントローラにフィードバックする。コントローラはPIDアルゴリズムにより電圧を調整して変位を補正し、高精度な位置決めを実現する。
ロードステップ時間
P12A.XY200Z100 100 g負荷、全ストロークステップ時間60 ms。
技術データ
型番：P12A.XY200Z100S
可動軸：XYZ
ストローク範囲（0 ~ 120 V）：XY 200/Z 80μm
ストローク範囲（0 ~ 150 V）：XY 250/Z 100μm
閉ループセンサ：SGS
閉ループ分解能：XY 13/Z 7 nm
閉ループ線形：XY 0.1/Z 0.2%F.S。
閉ループ反復性：XY 0.05/Z 0.1%F.S。
空荷重共振周波数：XY 240/Z 50 Hz
積載量：500 g
容量：XY 7.2/Z 1.8μF
材料：鋼、アルミニウム
