P66A.X30小サイズX方向動圧局

P66A.X30は1次元X方向運動圧電プラットフォームである。プラットフォーム内部には摩擦のない可撓性ヒンジガイド機構と一体化構造設計を採用している。この機構は高性能圧電セラミックスを内蔵する増幅駆動原理を採用している。このプラットフォームは38μm範囲のナノスケール位置調整を実現することができる。有限要素シミュレーション解析を用いて可撓性ヒンジの構造を最適化した。フレキシブルガイドシステムはガイド精度が高く、剛性が高く、荷重が大きく、摩擦がなく、メンテナンスフリーなどの特徴がある。このプラットフォームは非常に高い制御精度を持ち、分解能と安定性はナノメートルスケールに達することができ、位置決め安定時間はミリ秒スケールである。

特徴

•X方向移動

•38μmまでのストローク

•最大100 gの積載能力

•オプションの閉ループ型、真空型

典型的な用途

•ナノ精度位置調整

•走査顕微鏡

•マイクロオペレーション

•ナノポジショニング/測定

•マイクロマシニング

高ダイナミックかつ高精度

P66A.X30は、高解像度、高動的、高精度なアプリケーションのために設計された小型高精度運動プラットフォームです。高信頼性圧電セラミックスを内蔵し、ナノスケールの精度調整を実現する。特殊な構造設計はその剛性を大きくし、空荷共振周波数は2000 Hzに達し、工業の高周波、高精度などの応用に対する需要を満たした。