N50.U0Cシリーズは1次元θx軸偏向圧電偏向段であり、その負荷能力は60 kgに達することができ、偏向角度は±0.25 mradである。それは解像度が10 nradに達する容量式閉ループセンサを採用し、20 kg負荷下で高周波動作することができる。大荷重偏向運動実験に最適である。
特徴
・θx軸傾斜
・60 kgまで負荷
・傾斜角度から0.5mrad@150V
・動作周波数210 Hz@±0.01 mrad
適用＃テキヨウ＃
・ビーム走査
・大負荷偏向運動
・干渉/計量
・空間外乱シミュレーションシステム
閉ループ変位VS電圧曲線
注：制御電圧は駆動制御電圧の12倍である。
ステップtime@12ms
20kg時の動作周波数VS振幅
技術データ
型番：N 50.U 0 C
キャプスタンシャフト：θx
傾斜角度：0.4 mrad（≒80″）@120 V
傾斜角：150 Vで0.5 mrad（≒100″）
センサー：CAP
閉ループ/開ループ分解能：0.02/0.01μrad（＜0.01″）
閉ループ線形度：0.3%F.S。
閉ループ反復性：0.3%F.S。
空荷重共振周波数：750 Hz
閉ループ/開ループアンインストール手順時間：30/15 ms
荷重：60 kg
容量：30μF
