圧電ナノポジショニングプラットフォームは精密ポジショニングの分野で重要な役割を果たしている。それは各種の高精度設備に集積することができ、ナノスケールの運動制御を提供し、広範な応用を持って、例えばマイクロスキャン、光路調節、ナノ操作技術、レ…
引用をストックしました
引用するにはまずログインしてください
引用をストックできませんでした。再度お試しください
限定公開記事のため引用できません。