圧電ナノポジショニングプラットフォームは精密ポジショニングの分野で重要な役割を果たしている。それは各種の高精度設備に集積することができ、ナノスケールの運動制御を提供し、広範な応用を持って、例えばマイクロスキャン、光路調節、ナノ操作技術、レーザー干渉、ナノリソグラフィ、バイオ技術、光通信、ナノ測定、マイクロ操作、ナノインプリントなどがある。科学技術の絶えずの進歩に伴い、測位システムに対するストローク範囲、荷重、精度要求も絶えず向上している。有限会社は絶えず技術力と研究開発能力を強化し、絶えず技術障壁を克服し、製品の性能を高め、大行程、大荷重、高精度の応用要求を満たす。
今回は大ストローク、大荷重の一軸圧電ナノポジショニングプラットフォームを紹介した。XD 770.300 S、サイズは（130×100×33）mm ^ 3。物理的外観を下図に示す。
Z運動、高負荷能力、長ストローク
XD770.300S圧電ナノポジショニングプラットフォームはZ軸運動プラットフォームであり、ストローク範囲は300μm、負荷は5 kgに達することができる。ストローク範囲と負荷能力の二重向上を実現し、同時に大ストロークと大負荷の応用に高品質のソリューションを提供した。CoreMorrow圧電制御器と組み合わせて使用し、高分解能、高速応答を実現する。
閉ループセンサーを搭載し、より精度が高い
圧電ナノポジショニングプラットフォームには閉ループセンサーが搭載されており、電気信号フィードバックの正確な位置を反映し、より高い精度を提供するために圧電ナノポジショニングプラットフォームの運動位置をリアルタイムで調整することができる。測定結果によると、その線形度は0.08%F.Sに達することができ、繰り返し位置決め精度は0.02%F.Sに達することができる。
コンパクトサイズ、複数の取り付け穴
XD770.300Sは高い負荷能力を持ち、体積はあまり増加しないが、非常にコンパクトである。その移動する上面には、荷重取付孔が16個あり、荷重の取付が非常に容易である。
技術データ
推奨コントローラ
XD770.300S圧電ナノポジショニングプラットフォームは、アナログ入力または上位機ソフトウェアによって制御することができるCoreMorrow E 53.Dシリーズの単一チャネルコントローラによって駆動することができる。小型で統合しやすいという特徴があります。
