マイケルソン干渉計は高精度の光学機器として、非常に広く応用されている。光の波長を測定するだけでなく、ガスや液体の屈折率、ガラスの厚さ、劈開先端の傾斜角度や距離の測定などにも使用できます。
マイケルソン干渉計の原理は、ビームスプリッタを介して入射ビームを2つのビームに分割することであり、各ビームは対応する平面鏡で反射されて戻ってくる。この2つのビームは同じ周波数、同じ振動方向、一定の位相差（つまり干渉条件を満たす）を持つため、干渉が発生する。干渉アームの長さを調整し、媒体の屈折率を変更することにより、干渉中の2つのビームの異なる光路を実現し、異なる干渉パターンを形成することができる。干渉計を調整することで、等厚の干渉縞、及び等傾角の干渉縞を発生することができる。この原理は各種測定機器の開発に利用できる。
下図はCoreMorrow P 63.Z圧電ナノポジショニングプラットフォームを移相器として使用し、位相シフトストロークは0 ~ 6.8μm、位相シフト解像度は0.1 nmに達することができ、全ストローク6.8μmの運動範囲は0.3 msで、ナノスケールのスキャン速度はより速くなる。
P 63.Z圧電ナノポジショニングテーブルは、下図に示すように、移動面を上向きにして、縦方向に変位を移動するために使用されます。しかし、このシステムでは、水平配置方法が採用され、水平方向に沿って移動変位が発生する。
Z方向圧電テーブルを水平に使用すると、その力が変化します。ご注文の際は、使用シーンに合わせて内装を調整し、使用環境により適応し、信頼性を高めることをお知らせください。
P63.Z技術データ
型番：P63.Z7S
可動軸：Z
長距離歩行range@120V：5.5ミクロン
長距離歩行range@150V：6.8ミクロン
センサ：SGS
閉ループ/開ループ分解能：0.2/0.1 nm
閉ループ線形度：0.4%F.S。
閉ループ反復性：0.2%F.S。
ピッチ/ヨー/ロール：<5μrad
スラスト/引張力能力：10/2 N
剛性：1.5 N/μm
空荷重共振周波数：2 kHz
閉ループ/開ループ
アイドルステップ時間：1.5/0.3 ms
アイドル動作周波数：200 Hz
負荷能力：0.8kg
容量：0.8μF
材料：アルミニウム
質量：70g
