中国の新年早々、CoreMorrowは次の図に示すように、X-motion大負荷容量センシング圧電ナノポジショニングプラットフォーム-XD 605.X 90の新製品を発売した。
X運動、大負荷
XD 605.X 90はX直線運動を実現でき、ストローク範囲は95μm、荷重は10 kg、解像度は3 nmに達することができ、大荷重応用により良い解決策を提供した。
キャパシタンスセンサ
閉ループバージョンXD 605.X 90は容量センシングを採用し、線形度は0.021%F.Sに達することができ、閉ループ繰り返し性は0.005%F.Sに達することができる。容量センサは2つの電極間の容量変化に基づいて物理量を測定するため、温度、磁場環境などの要素の影響を受けない。精度、応答速度、安定性、信頼性、コストの面で多くの利点があります。
使いやすい3つの場所
XD 605.X 90は使用と配置方式において突破を遂げ、直立、横臥、倒置の3種類の姿勢に使用でき、より多くの設備やシステムの負荷姿勢に対する要求を満たすことができる。
適用＃テキヨウ＃
マイクロスキャン、光路調整、ナノ操作技術、レーザー干渉測定、ナノリソグラフィ、バイオ技術、光通信、ナノ測定、マイクロ操作、ナノインプリントなど。
技術データ
推奨コントローラ
E 53.D 1 C-H圧電コントローラは、容量センサを備えた圧電製品を駆動するための閉ループサーボ制御を備えたアナログおよびデジタルコントローラである。外形寸法は148×125×27.5 mm、電源は24 VDC/1.5 A。本体には冷却領域があり、発生した熱を迅速に出力でき、小型で統合しやすい。
詳細については、CoreMorrowにお問い合わせください。0451-86268790、17051647888（ウィーチャットID）
