科学研究と工業の高精度な運動と制御応用に対する需要の中で、圧電テーブルはその体積が小さく、ストロークが大きく、精度が高いなどの利点で選ばれた。圧電テーブルの動作原理は圧電セラミックスの逆圧電効果による微小変位を機械平面に変換するマクロ線形または角運動であり、半導体技術、光学機器設備、医療バイオ技術、精密加工設備、航空宇宙などの分野に広く応用できる。
今日は360°双方向回転ステージN61.E/K56-Bをお勧めします。圧電セラミックによって駆動される圧電ステップ直接駆動ステージです。それは特殊な機械設計によって双方向360°回転を生成することができ、回転分解能は1μradに達する。その薄い外観と溝の底部の設計は、統合のための理想的な選択肢になります。製品は下図のようになります。
特徴
360°双方向回転運動
5°/sの高速化
PCソフトウェアで制御できます
カスタム真空バージョン
適用＃テキヨウ＃
1.干渉：CoreMorrow圧電回転テーブルは絞りの孔径の大きさを調整することができ、絞りの形状を調整することにより、光の位相と干渉効果を制御することができ、それにより画像の調整と最適化を実現することができる。
2.マイクロ流体制御：回転圧電局は流体制御ポンプとして使用することができる。その体積が小さく、精度が高く、応答速度が速いという利点から、マイクロ調剤、マイクロ注射などの流体輸送を連続的に制御することができる。
3.絞りスイッチ：圧電回転テーブルを用いて絞り制御を行うことができ、有効に絞り開口内の直径を制御し、穴を通る光伝送を調節することができる。光学系における撮像品質を向上させるだけでなく、光透過率を変えることで半導体の導電性にも影響を与えることができる。
技術データ
推奨コントローラ
H01.6K-B4光ファイバ位相変調器を駆動するE 53系圧電制御器を推奨します。シングルチャネル圧電コントローラで、電源24 VDC/1.5 A、帯域幅10 kHz、アナログまたはデジタル制御、オン/オフループを選択できます。コンパクトな構造で統合が容易で、小規模なアプリケーションのために開発されています。
E53.D1E−J E53.C1K−J圧電制御器は360°回転テーブルを駆動するように設計されている。シングルチャネル出力、デジタル制御、閉ループサーボまたは開ループ制御を採用し、体積が小さく、105×103×30.1 mm ^ 3しかなく、構造がコンパクトで、集積しやすい。
