CoreMorrow P17シリーズ圧電顕微鏡スキャナ

P17は、特に大孔径と大変位を必要とするアプリケーションのために開発された2次元走査台である。スキャナーは増幅機構を採用し、高信頼性圧電アクチュエータを内蔵し、187.5μmの走査範囲を実現でき、孔径は60×60 mmである。正確な位置決め、走査顕微鏡、サンプル干渉などの分野に広く応用されている。

・XY軸

・最大ストローク187.5μm

・最大負荷は1 kg

・穴径：60×60 mm

・画像処理と安定化

・干渉

・走査顕微鏡

・表面検査

・ウエハ位置決め

・ミクロ操作

P17.XY200S負荷10gから全ストロークへのステップ時間は約30 msである。

P17は高速、高精度のスキャンプラットフォームで、187.5μm/軸のストロークを実現することができる。卓越した摩擦のない構造設計、高いガイド精度、応答時間は5msに速い。

閉ループバージョンでは、高精度センシングフィードバックが使用されます。60×60 mm開口のスキャナーは、産業自動化におけるウェハ位置決めやマイクロ動作に適している。

P17は高精度応用に適している。半導体試験、表面構造解析、顕微イメージングなどの分野での応用に成功している。

CoreMorrow圧電対物レンズスキャナとともにウェハ位置決めに使用し、ウェハを187.5μm変位のナノスケール精密位置決めに駆動することができる。