CoreMorrowの高精度圧電スキャナ

N62シリーズXY圧電スキャナはXY軸並進走査プラットフォームであり、増幅機構を採用している。中心孔径26 mmで、X、Y軸±10μm変位を実現できる。この製品は構造がコンパクトで、統合しやすい。

特徴

•ストローク±10μm

•負荷能力が1 kgに達する

•穴径：フタ6 mm

•高閉ループ反復性

•開閉リング

•カスタマイズ可能

典型的な用途

•顕微鏡像化

•表面検査

•画像の安定化

•干渉/計量

•正確な位置決め

•XYスキャン

周波数と負荷曲線

高ダイナミック、高解像度、高精度

N62シリーズ圧電スキャナは、小体積高精度並進走査プラットフォームである。X軸とY軸を移動し、高解像度、高ダイナミック、高位置決め精度のアプリケーションに特化して設計されています。高信頼性圧電セラミックスを内蔵し、XY軸±10μm変位を実現でき、分解能は0.5 nmに達することができ、全行程の繰り返し精度はナノメートル級に達することができる。

この製品はステンレス鋼で作られ、非常に大きな剛性を持つように特殊な構造設計をしている。空荷共振周波数は2000Hzであり、工業の高周波と高精度応用に対する需要を満たす。