P 32シリーズの圧電クイックステアリングミラーはθxとθyの2つの軸に高速で正確な偏向運動を提供し、Z軸に線形運動を提供する。線形運動の分解能はサブナノスケールに達することができ、偏向分解能はサブマイクロラジアンに達することができ、応答時間はミリ…

圧電炉駆動のマイクロポジショニング雲台はマイクロナノ技術分野に広く応用されており、通常は応用システムにおける重要な部品である。CoreMorrowの圧電傾斜ステージは圧電スタックを駆動源として使用した。内部設計は無復帰可撓性ヒンジ平行構造設計を採用…

P17は、特に大孔径と大変位を必要とするアプリケーションのために開発された2次元走査台である。スキャナーは増幅機構を採用し、高信頼性圧電アクチュエータを内蔵し、187.5μmの走査範囲を実現でき、孔径は60×60 mmである。正確な位置決め、走査顕微鏡、サン…