圧電炉駆動のマイクロポジショニング雲台はマイクロナノ技術分野に広く応用されており、通常は応用システムにおける重要な部品である。CoreMorrowの圧電傾斜ステージは圧電スタックを駆動源として使用した。内部設計は無復帰可撓性ヒンジ平行構造設計を採用し、正確な角度調節を実現した。それは体積が小さく、構造がコンパクトで、機械摩擦がなく、位置決め精度が高いという利点があり、製品の偏向精度と安定性がよく、応答速度が速く、レーザービームスキャンとレーザービームの組み合わせに広い応用の将来性があることを保証した。
S54シリーズ圧電雲台
S54シリーズは、大中心貫通孔を有する2次元θxとθy軸圧電偏向テーブルである。摩擦のない可撓性ヒンジ構造設計を採用し、応答速度が速く、閉ループの位置決め精度が高い。80×80 mm中心の大きな透明孔により、顕微鏡や走査光学系への集積が容易になる。
特徴
・開閉リング
・80×80 mm大通孔
・高解像度
・薄型
高精度閉ループ
有限要素解析を用いて内部可撓性ヒンジガイド機構を最適化し、角度オフセットを最大限に低減し、摩擦がないようにした。S 54傾斜/傾斜プラットフォームは±1 mradの最大偏向範囲を実現でき、分解能は0.05μradに達する。閉ループセンサは選択的に配置でき、0.1%F.Sの再現性を実現する。
大型ミラーのロード
S54圧電ステージは80×80 mmの大孔径を有し、透過光を必要とする用途に最適である。
負荷曲線と周波数曲線
ステップ時間
S54.T2Sが無負荷で全行程に到達するステップ時間は約20 msである。
技術データ
