圧電ナノポジショニングプラットフォームの紹介！

P11シリーズを例に圧電ナノポジショニングプラットフォームを紹介する。

P11シリーズ圧電ステージには複数のモデルがあり、1 ~ 3次元の運動バージョンを提供でき、ストロークは100μmから300μmまで選択できる。外観から見ると、P 11シリーズには2種類の形状があります。両方の形状の長さと幅は同じで、いずれも40×40 mmです。ストロークのサイズやサイズによって、形状の高さが異なります。22 mmと36.5 mmの2種類があります。

P11シリーズ圧電ステージの単軸運動バージョンは300μm移動でき、2 Dまたは3 Dバージョンの標準移動は100μm/軸である。それは機構増幅の原理を利用して内部圧電セラミックス駆動源による変位を増幅する。変位増幅後、ベアリング能力は低下したが、P 11三次元版のベアリング能力は600グラムに達することができる。

開/閉ループバージョン

P11シリーズの圧電段にも開環と閉環の2種類がある。対照的に、クローズドループバージョンには、ステージ自体が生成する実際の変位を検出するためのクローズドループセンサが追加されています。オープンループとクローズループは、ステージのリードコネクタと区別できます。例えば、標準圧電段には、通常、LEMOコネクタが装備されている。このフェーズに2種類のコネクタがある場合、下図に示すように、2種類のシングルコアとクアッドコアLEMOコネクタがあります。単心LEMOコネクタが1つしかない場合、このフェーズは閉ループバージョン、つまり開ループバージョンです。

また、圧電ステージの移動寸法は、1次元移動用、2次元移動用、などの1芯LEMOコネクタの数に基づいて決定することもできる。

上記方法は、LEMOコネクタ形式の圧電段の開環と閉環の識別方法にのみ適用される。

固定マウント

負荷の機械的接続を容易にするために、P11には4つのM 3ねじ穴が設計され、ユーザーに固定インタフェースを提供している。

また、P 11圧電局の四隅には固定用のB.2.7 mm通孔が4つある。

取り付けと使用中は、圧電ステージの移動面と非移動ベースとの間の隙間が清潔であり、隙間の間にステージの移動を妨げるシート、糊などを置くことができないことを確認してください。変位を小さくするか、出力しない。

適用＃テキヨウ＃

圧電テーブルの特徴はナノスケールの高解像度と精度、ミリ秒からサブミリ秒までの高速応答速度、簡単な制御方法、低コストなどであるため、マイクロイメージング、レーザー加工（結晶円形切断）、マイクロナノ旋削、画像解像度の増強などの非常に広範な応用があり、光検出移相器及び他の高速マイクロナノアクチュエータ応用。