圧電アクチュエータは高信頼性、高解像度、高剛性、大出力などの特徴を持ち、正確な運動と位置決めを実現する理想的な駆動部品である。可撓性ヒンジ機械構造は運動が安定し、摩擦がなく、バックホールがなく、精度が高い特徴がある。それは圧電炉との高分解能、高周波精密運動と位置決めシステムの形成に適している。
同時に、可撓性ヒンジ機構はまた、圧電アクチュエータが引張力に耐えることを回避し、システムの使用寿命を延長するための適切な予締力を提供することができる。以下に、圧電アクチュエータ駆動と可撓性ヒンジ機構駆動の組み合わせの典型的な例を示す。
ピエゾナノポジショニングテーブル
圧電ナノポジショニングプラットフォームは圧電アクチュエータ駆動とフレキシブルヒンジ機構を変位増幅ソリューションとして採用し、X軸、Z軸、XY軸、XZ軸、XYZ軸の正確な運動を実現でき、体積が小さく、摩擦がゼロで、応答が速いという特徴がある。変位は1.1 mmに達することができ、分解能はナノメートル級に達することができ、良好な信頼性を持っている。干渉、顕微鏡、精密加工などの分野に適している。
高精度加工
高速工具サーボシステムは圧電アクチュエータ、フレキシブルヒンジ機構と閉ループセンサから構成され、その自身の高剛性と高精度の特徴を利用して、工具を駆動して運動方向に沿って急速に送り、ワークまたは構造の精密加工を実現する。その行程は118マイクロメートルで、解像度はナノメートルです。
あつでんクランプ
圧電クリップは、フレキシブルヒンジ機構により圧電スタックの変位を増幅し、金糸を握って自由に移動できるようにした。治具の変位は70μmに達することができ、応答時間は約ミリ秒である。
