圧電プラットフォームを使用して高精度に調整しようとするユーザーにとって、解凍プラットフォームのナノスケールの高精度を実現したとき、最初は「心を込めて」の心理状態であり、すぐに自分のシステムに統合したいと思っていた。しかし、解凍ラジオのマイクロメートルレベルの運動範囲を利用すると、彼は「非常にがっかりしている」。
このような意気消沈するユーザーに対して、CoreMorrowは圧電マクロマイクロ複合ステージを専門に設計し、圧電ステージのナノスケールの高精度を獲得しただけでなく、数十ミリから数メートルの運動範囲を持っている！
マクロミクロ運動ステージの紹介
巨視的-微視的運動台は、圧電局と手動調整または他の電動移動局の組み合わせであり、この組み合わせは圧電局の高解像度を失うことはありません。手動で並進テーブルを調整する圧電マクロマイクロ複合テーブルを採用し、その手動調整ストロークは一般的に13 mmで、解像度は10μmに達し、圧電テーブルの微調整ストロークの範囲内にある。手動で粗調整を行った後、圧電プラットフォームを用いてナノスケールの微調整を行った。
上図に示すように、圧電マクロマイクロステーションは、圧電ステーション、マイクロメーター（または他の電動調整ステーション）、および移動局から構成される。シンプルな構造に見えますが、設計、製造、組み立ては非常に困難です。圧電ステージはマイクロメーターと移動ステージと完全に結合しなければならない。ネジ1本であっても、細かいことは考慮しなければなりません。
圧電巨視的−微視的運動ステージの変位は1〜3次元から自由に選択でき、3次元運動中に軸間の結合を受けないように結合構造を組み合わせることができる。
CoreMorrowには2つの標準的な圧電マクロマイクロモーションレベル、すなわちP 83とP 84シリーズがあります。粗調整ストロークは同じで、いずれも13 mmで、微調整ストロークはそれぞれ25μmと100μmである。次の図は、コアの明日のP 83シリーズとP 84シリーズがP 83シリーズに似ていることを示しています。
パラメータ、寸法、形状をカスタマイズできます
標準CoreMorrowの標準圧電マクロマイクロモーションテーブルでは、粗調整ストローク標準は13 mm、圧電微調整ストロークは25μmまたは100μmである。パラメータや他のパラメータをカスタマイズすることにより得ることができ、例えばステージのサイズ、形状、パラメータを巨視的に調整することができ、圧電ステージのサイズ、形状、パラメータをカスタマイズすることもできる。
次の図は、マイクロメータを使用せずに圧電局とモーター台を組み合わせたカスタム圧電マクロマイクロ運動台です。これはXY 2次元運動です。各軸の粗調整ストロークは50 mm/軸より大きく、微調整ストロークは68μm/軸である。
次の図は、別のカスタム圧電マクロマイクロステーションです。Z方向運動圧電ステージを用いてXY手動調整ステージと結合している。Z方向圧電ストロークは260μmを超え、中心に貫通孔がある。手動XY位置調整が完了すると、Z方向の高精度位置調整が可能となり、マイクロイメージングなどのシーンに最適です。
ピエゾ電気マイクロメータ
圧電マイクロメータは、移動ステージのない圧電マクロマイクロ移動ステージである。一部のユーザーにとって、彼らはすでに自分のモバイルステージを持っている。この必要に直接使用できるのは、圧電マイクロメータなどのマイクロアクチュエータのみである。CoreMorrowの圧電マイクロメータを選択し、界面をカスタマイズすることができます。
