N31シリーズリニア圧電モーター内部はPZT駆動を採用している。直線運動行程は25 mm、50 mm、100 mmであり、分解能はサブナノメートル級に達することができる。閉ループサーボセンサ（インクリメンタルエンコーダ）を選択可能で、位置決め精度が高い。オプションの可動サーフェス。
特徴
•障壁が大きい
•閉ループ事故後に自動復帰
•電源投入後に自動的にゼロに戻る
•オプションのラスタデジタル閉ループ
•耐摩耗性材料を使用し、真空非磁性互換性
適用＃テキヨウ＃
•工業級精密位置決め
•半導体技術/テスト
•ウェハ検査
•平版印刷
•ナノインプリント
•ナノメータリング
•強磁場と真空での移動
バリア力が大きい
N31シリーズリニア圧電モーターの能動遮断力は50 N、受動保持力は60 Nに達することができる。また、M 60を水平に置くと、10 kgの荷重で高精度な運動を行うことができます。
インクリメンタルエンコーダによる精度向上
N31は、線形運動の精度を高めるために、閉ループセンサとしてインクリメンタルエンコーダを備えることができる。
電源オフオートロック、自動ゼロ復帰、自動リターン
N31の電源が切れると、オートロック機能があり、再電源が入ると自動的に位置が変更されます。使用中に予期しない衝突が発生すると、N31は自動的に位置を調整します。
たいまもうざいりょう
N31リニア圧電モーターの使用寿命が1キロを超える高耐摩耗性材料。
推奨圧電制御装置
E71シリーズの圧電コントローラは、M 60リニア圧電モータを駆動するために設計されています。上位機がデジタル制御し、移動速度が調整可能で、目標位置に近い設定方法を採用している。
パラメータ
型番：N31
軸：X
統合センサー：インクリメンタルエンコーダー
ストローク範囲：25 mm、50 mm、100 mm
オンライン速度：10 mm/s
閉ループ分解能：<10 nm
開ループ解像度：<0.1 nm
プッシュ/テンション（有効）：50 N
保持力（受動）：60 N
動作温度：0 ~ 50℃
質量（ケーブル含む）：565 g
材料：アルミニウム、ステンレス鋼
ケーブル長：1.5 m
