圧電ヘリカルレベリングプラットフォームZT 50 N 81 K 8は、3軸レベリングのために設計されている。3つの線形駆動点により、プラットフォームはθx、θy偏向、Z方向上昇により調整することができる。位置決め精度が高く、積載能力が強く、モーターの操作がより…
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