N31シリーズリニア圧電モーター

CoreMorrowのN31シリーズリニア圧電モータはPZT圧電ドライバ内部で駆動される。線形運動ストロークは25、50、100 mm、分解能はサブナノメートル級に達することができ、閉ループサーボセンサ（インクリメンタルエンコーダ）、より高い位置決め精度、オプションのスライド台を選択することができる。

特徴

•力が強い

•閉ループが不意にタッチされると自動的に位置に戻る

•電源投入後に自動ゼロ調整

•オプションのラスタデジタル閉ループ

•耐摩耗性材料を使用し、真空非磁性互換性

アプリケーションフィールド

•工業級精密位置決め

•半導体技術/テスト

•ウェハ検査

•オフセット印刷

•ナノインプリント

•ナノメータリング

•強磁場と真空環境での運動

強大な力

N31シリーズ線形圧電モーターの能動プッシュプル力は50 N、受動保持力は60 Nに達することができる。また、N 31を水平に配置すると、10 kgの負荷で高精度な運動を行うことができます。

インクリメンタルエンコーダによる精度向上

N31は、閉ループセンサとしてインクリメンタルエンコーダを備えることができ、線形運動の精度を高めることができる。

電源遮断オートロック、自動交換、自動復帰

N31は電源オフ後にオートロック機能を持ち、再電源が入ると自動的に交換場所が見つかります。使用中に予期しない衝突が発生した場合、N31は自動的に初期位置を調整します。

たいまもうざいりょう

N31リニア圧電モーターの使用寿命が1キロを超える高耐摩耗性材料。

サポートコントローラ

E71シリーズの圧電コントローラは、N 31リニア圧電モータを駆動するために設計されています。上位機がデジタル制御し、移動速度が調整可能で、目標位置に近い設定方法を採用している。

技術パラメータ

型番：N 31リニア圧電モーター

運動タイプ：X

統合センサタイプ：インクリメンタルエンコーダ

公称ストローク範囲：25 mm、50 mm、100 mm

速度：10 mm/s

閉ループ分解能：<10 nm

開ループ解像度：<0.1 nm

プッシュ/テンション（有効）：50 N

保持力（受動）：60 N

動作温度：0 ~ 50℃

材料：アルミニウム、ステンレス鋼

ケーブル長：1.5 m

特徴

N31ダイナミックプレゼンテーションビデオ

N31ダイナミックプレゼンテーションビデオ（スライドテーブル付き）

N31ダイナミックデモビデオ（10kg負荷）