CoreMorrowのN31シリーズリニア圧電モータはPZT圧電ドライバ内部で駆動される。線形運動ストロークは25、50、100 mm、分解能はサブナノメートル級に達することができ、閉ループサーボセンサ(インクリメンタルエンコーダ)、より高い位置決め精度、オプショ…
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