圧電ヘリカルレベリングプラットフォームZT 50 N 81 K 8は、3軸レベリングのために設計されている。3つの線形駆動点により、プラットフォームはθx、θy偏向、Z方向上昇により調整することができる。位置決め精度が高く、積載能力が強く、モーターの操作がより便利である。同時に、その精度が高く、制御性が強く、実用性が強いため、科学研究、レーザー応用、工業自動化などの分野に広く応用されている。
ZT50N81K8圧電螺旋レベリングプラットフォーム直径160mm、直線ストローク3mm、偏向角±1.5°θx、θy、角度分解能0.3μrad、支持力2 kg、良好な長期安定性を有し、停電時に連続的に設定位置を保持することができる。電源遮断オートロック機能もあります。次の図はプラットフォームを示しています。
特徴
•三次元偏向運動
•サブμrad角分解能
•電源遮断オートロック
•より柔軟な電動操作
適用＃テキヨウ＃
•科学的研究
•光学
•実験室システム構築
•三軸レベル測定
•ウェハの平坦化
•工業
技術データ
半導体製品のレベリング
ZT 50 N 81 K 8圧電ヘリカルレベリングプラットフォームは高精度、大ストローク、多次元運動などの特徴があり、ウエハレベリングなどの半導体分野のレベリングに非常に適している。
推奨コントローラ
CoreMorrow E 53.C 4 K圧電コントローラは、24 VDC電源を採用したZT 50 N 81 K 8圧電ヘリカルレベリングプラットフォームの駆動に使用できます。4チャネルバージョンでは、4つの圧電ねじをデジタル信号切換モードで駆動することができます。コントローラはネットワークポートを介して圧電ネジに接続することができ、これにより非常に小さく、統合が容易になります。
詳細については、CoreMorrowウィーチャットの公式アカウントに注目するか、0451-86268790、17051647888（ウィーチャットID）に電話して連絡してください。
