今日は、閉ループXYZ運動、圧電スクリュー駆動の圧電運動プラットフォームを紹介します。圧電スクリュー運動プラットフォームのユーザーは、通常、この運動プラットフォームは閉ループサーボ制御センサがなく、ほぼ開ループであることを知っているだろう。しかし、ユーザーの大ストローク運動制御下の高精度要求を考慮して、XYZ65N81E26圧電スクリュー運動プラットフォームを設計し、開発した。このプラットフォームには増分式エンコーダが搭載されており、運動ストロークと精度を正確に制御でき、精度は1.5μmに達することができる。
特徴
MXYZ運動
クローズドループインクリメンタルエンコーダ
ストローク範囲±12.5 mm/軸
ナノレベル変位
1.5μmまでの精度
運動原理
XYZ65N81E26圧電ネジ移動プラットフォームは圧電ネジによって駆動される。圧電ねじの運動は、内部圧電セラミックスの微小運動によってねじを回転駆動し、ねじに沿って前進移動する。スクリューの押し付けにより、荷重移動プラットフォーム表面が直線的に移動する。
技術データ
パラメータは次の表のとおりです。
テストデータ
以下の結果は、荷重1.5 kg、温度28.8℃、湿度31%で測定した。
カスタムパラメータと真空バージョン
CoreMorrowは、ユーザーのパラメータ要件に応じてカスタマイズされた圧電スクリュー運動プラットフォームを提供します。ユーザは1〜3軸の移動を選択し、インクリメンタルエンコーダを選択することができる。また、真空互換バージョンもカスタマイズでき、真空度は10 ^-6 barまで。
適用＃テキヨウ＃
XYZ65N81E26は3軸性圧電スクリュー運動プラットフォームである。そのストロークが大きく、精度が高い特徴のため、半導体試験、ウエハ検査、ナノインプリント、ナノ気象学、工業精密位置決めなどの分野に非常に適している。
ほじょせいぎょき
XYZ65N81E26圧電スクリュー運動プラットフォームはCoreMorrowが開発・生産したE 53.D 1 Eコントローラを採用し、シリアルポートを通じてコンピュータと接続し、通信することができる。コンピュータソフトウェアは圧電スクリューの運動プラットフォームを制御でき、運動速度とその他のパラメータを設定することができる。
その他の圧電スクリュー運動プラットフォーム
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