超精密加工はナノ加工を実現する最も有効な方法である。このうち、圧電高速工具サーボシステムは超精密加工のコアデバイスである。高速工具位置決めステーションは、ワークピース表面を加工するために旋削工具または他の工具のマイクロナノスケール送りを駆動する。また、内部円筒面、内外円錐面、ねじ山、溝、端面、成形面などの様々な回転面を加工することもできます。
FTS20高速工具位置決めプラットフォームは、超精密旋削のために設計された高速工具微送りプラットフォームである。直接駆動構造を採用し、負荷能力が大きく、周波数が高い。ナノスケールの位置決め精度を持つ容量式閉ループセンサも使用している。
特徴
・ストローク範囲18μm
・動作周波数95 Hz
・300 gにロード
高剛性
FTS 20は大電力圧電アクチュエータを採用し、台体材料はステンレス鋼を採用し、加工過程における安定性を確保し、構造が安定で信頼性があり、加工精度は振動の影響を受けない。
パラメータ
型番：FTS 20
トリップ範囲：18um@95Hz
9um@190Hz
1um@600Hz
センサ：SGS
線形：0.1%F.S。
再現性：15 nm
荷重：300 g
剛性：120 N/mm
空荷重共振周波数：4000 Hz
駆動電圧：0 ~ 150 V
サイズ：L 110×W 95×H 42 mm
質量：2100 g
動作温度：-20～80℃
ケーブル：1.5 m
