超精密加工におけるFTSサーボシステム

精密と超精密加工技術の応用は少数の分野に限らない。日常生活やアプリケーションの多くの分野に拡大しており、アプリケーションの規模も大幅に増加しています。超精密加工はナノ加工を実現する最も有効な方法である。圧電高速工具サーボシステムは超精密加工の核心設備である。高速工具位置決め台は、旋削工具または他の工具をナノスケールとナノスケールで送り、ワークの表面で加工するように駆動する。また、内部円筒面、内外円錐面、ねじ山、溝、端面、成形面などの様々な回転面を加工することもできます。

超精密加工のために開発されたCoreMorrow高速工具サーボシステム。このツールは、自身の高応答周波数、高剛性、高精度などの特性を利用して、運動方向に118μmの全ストロークを迅速に実現します。複雑な表面形状のワークや構造の精密加工は、特に工具の微送り、誤差補償、FTS微変位台などの応用に適している。