増幅圧電アクチュエータは、圧電セラミックスを積層することにより設計され、フレキシブルヒンジ支持構造、増幅構造、ハウジング構造を結合し、圧電セラミックスの線形変位を増幅し、変位の垂直方向に出力する。マイクロシフト分解能が高く、安定性が高いと…
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