インダクタンスマイクロメータは、微小な寸法変化を正確に測定できる機器である。E 75は接触式LVDTマイクロメータであり、誘導プローブによって外部変位変形を検出することができ、測定範囲は0 ~ 1 mmで、精度は100 nmより優れている。
特徴
•測定範囲0～1mm
•タッチスクリーン表示
•分解能0.01ミクロン
•接触測定
•タッチスクリーン制御またはPCソフトウェア制御
こうぞう
CoreMorrow E 75インダクタンスマイクロメータはプローブと主制御ボックスから構成されている。
1.プローブ
E75インダクタンスマイクロメータは、測定対象物と接触し、測定対象物の動きによって押し戻されたり、内部弾性力によって測定対象物の動きに伴って延びたりする接触プローブを有する。プローブはステントによって固定され、測定対象物と接触する。プローブは0.15 mmの予備ストロークを有し、設置中のいくつかの予備圧縮に適している。プローブ膨張長の変化は、内部コイルと電機子との間の距離を変化させ、コイル内のインダクタンスの変化をもたらす。
2.主制御ボックス
制御ボックス本体はプローブに励磁電圧信号を供給し、プローブコイルのインダクタンス変化による直流電圧信号の変化を収集して増幅し、制御ボックス本体の処理により伝送と表示を行う。
E75メイン制御ボックス
タッチパネルディスプレイ
E75インダクタンスマイクロメータにはタッチスクリーンディスプレイが搭載されており、このディスプレイにより直感的なデータ表示が可能となっている。
パネルの紹介
①電源スイッチ
②24 V直流電源
③RS-458コネクタ
技術データ
典型的な用途
E75インダクタンスマイクロメータの応用は広く、精密機械製造、集積回路製造、科学研究、国防と計量などの分野に広く応用できる。例えば、長さ（深さ、高さ、厚さ、直径、テーパなど）測定、振動測定、精密位置決めシステム、マイクロ変位検出、マイクロロボット変位検出、光ファイバドッキングなどのマイクロ変位検出が必要な分野を実行することができます。
