真空XYZ軸圧電ナノポジショニングテーブル

P12B.XYZ100圧電走査台は3次元平行並進走査台であり、台体の中心に貫通孔がある。内部には無摩擦フレキシブルヒンジガイド機構を採用している。有限要素シミュレーション解析は構造を最適化するために使用される。それはガイド精度が高く、剛性が高く、荷重が大きく、摩耗がないなどの特徴がある。

このプラットフォームは、0.05%F.S.の繰り返し位置決め精度を実現するために、全閉ループフィードバック用の高性能センサを選択することができる。P 12 B.XYZ 100圧電走査台の走査範囲は100μm/軸に達することができ、閉ループ走査精度が高く、直線運動にヨーがない。この製品は表面測定、顕微イメージング及びその他の応用分野に広く応用され、顧客の真空応用ニーズを満たすために真空応用にも適用される。