科学技術研究の深化に伴い、低温真空と高磁性環境におけるナノスケール精密位置決めの応用はますます物理、化学と材料科学分野に応用されているが、低温真空無磁性圧電運動台は高精度精密位置決め装置であり、その主な特徴は高精度、高安定性、高信頼性であ…
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