真空版XYZ 65 N 81 K 26は圧電スクリューによって駆動されるXYZ三次元運動プラットフォームであり、ミリレベルの大ストローク位置調節を実現でき、ストロークは25.4 mm/軸に達することができ、ナノレベルの変位増分を実現することができる。精密位置決め、半導体試験などの分野に広く応用されている。同時に、真空応用環境に適しており、真空度は10 ^-5 Paに達することができる。
このプラットフォームは真空型圧電スクリューによって駆動され、全ストローク分解能は20 nmを超え、定格負荷は30 Nである。コンパクトな設計で長期安定性に優れ、電源障害が発生したときに設定位置に維持し続けることができるのが特徴です。
特徴
•XYZ運動
•ストローク25.4 mm/軸
•最大0.5μmの解像度
•真空度10 ^-5 Pa
•カスタマイズ可能な閉ループバージョン
適用＃テキヨウ＃
•リソグラフィ
•ナノインプリント／ナノメータリング
・強磁場と真空場での運動
1 ~ 3軸運動プラットフォーム
このシリーズの真空版運動プラットフォームはX、XY、XYZなどの多軸運動を実現でき、25.4 mmの精密変位調整を実現できる。
技術パラメータ
型番：XYZ 65 N 81 K 26
運動軸：XYZ
ストローク範囲：25.4 mm/axis
最小変位増分：<30 nm
分解能：0.5μm
中心荷重：50 N
ベアリング：ボール
材料：アルミニウム
動作温度：10 ~ 40℃
ポート：4ピン
出線長：2 m
製品のビデオ表示
https://www.youtube.com/watch?v=C5heZY20kIc
推奨コントローラ
このシリーズプラットフォームは、4チャネルオープンループ制御のためのUSBインタフェースを介してドライバE 53.C 4 Kによって制御することができる。
