CoreMorrow新製品｜XD 106.XYZ 60 K超低温真空無磁性圧電スキャナ

科学技術研究の深化に伴い、低温真空と高磁性環境におけるナノスケール精密位置決めの応用はますます物理、化学と材料科学分野に応用されているが、低温真空無磁性圧電運動台は高精度精密位置決め装置であり、その主な特徴は高精度、高安定性、高信頼性である。それは低温、真空と磁場の中で正確な位置決めを提供することができて、広く半導体の加工と検査に応用されています。

XD106.XYZ60K

CoreMorrow XD106.XYZ60K圧電スキャナーは超低温、真空、非磁性環境への応用のために設計された3軸運動圧電プラットフォームである。それはXYZ三軸走査運動を行うことができて、低温圧電駆動を使用して、低温抵抗は4 Kに達して、そのサイズは小さくて、39mmx 39mmx 35mmしかありません。中心貫通孔φ10mmで集積しやすい。その外殻は軽量で耐低温、無磁性材料を採用し、低温ツイストペアを採用し、低温環境の使用に適応する。

特徴

・4 K低温、真空、無磁性、耐低温で最大4 K

・XYZ運動

・ストローク範囲30μm/軸@4 Kまで

・2 nmまでの分解能

・開環運動制御

・応答速度が速い

アプリケーション＃アプリケーション＃

・半導体加工

・半導体検査

・高精度試験と操作

・ナノ運動制御の他の非磁性要求の真空