S54シリーズは、中心貫通孔と2次元θxθy軸運動を有する圧電傾斜プラットフォームである。有限要素分析により可撓性ヒンジガイド機構を最適化し、その角偏差が小さく、応答速度が速いようにした。圧電セラミックドライバは±1mradの偏向範囲と0.05μradまでの分解能を実現するために使用される。0.1%F.Sの繰り返し位置決め精度を実現するために閉ループセンサを選択的に構成することができる。
S54は、わずか20 mmの厚さの薄いテーブル本体を有する。80×80mmの中心貫通孔は、サブマイクロラジアン精密ビーム調整、測定、位置決めなどの応用に適している。
特徴
•θx、θy傾斜運動
•オプションの開ループと閉ループ
•80×80 mm孔径
•高解像度
•加速度/角速度センサのキャリブレーションに適している
でんあつへんいきょくせん
適用＃テキヨウ＃
S54シリーズ圧電傾斜テーブルは超薄型の形状と高精度の偏向を有し、レーザビーム合成やその他の応用に大量に応用されている。
バルク製品テストビデオ
技術パラメータ
型番：S 54.T 2
運動方式：θx，θy
偏向角度（0 ~ 120 V）：±0.8 mrad/軸（≒±165″）
偏向角（0 ~ 150 V）：±1 mrad/軸（≒±200”）
閉ループセンサ：SGS
閉ループ分解能：0.25μrad（≒0.05”）
開環分解能：0.05μrad（≒0.01″）
閉ループ線形：0.2%F.S。
閉ループ繰り返し位置決め精度：0.1%F.S。
プッシュ/テンション：40/8 N
運動方向剛性：0.5 N/μm
空荷重共振周波数：X 450/Y 400 Hz
閉ループ/開ループ空荷重ステップ時間：20/3.5 ms
閉ループ動作周波数（-3 dB）：110 Hz（アイドル）
積載量：1kg
動作温度範囲：-20～80℃
静電容量：3.6μF/軸
材料：アルミニウム、鋼
重量：510g
出線長：1.5m
