пьезоэлектрические быстрые рулевые зеркала в PDM

圧電変形ミラーの主な用途は適応光学である。圧電変形ミラーは適応光学系の中で最も一般的な波面補正器であり、その性能は適応光学系の補正能力に直接影響する。

圧電駆動可変形ミラーに基づいて、ビーム方向の超高速調整と制御は、大気伝送中のレーザ乱流の影響を補償し、レーザを目標に最適な方法で焦点を合わせるために使用される。応答が速く、解像度が高く、変形が大きく、駆動電圧が低く、コストが低く、重量が軽いなどの利点があり、広く応用されている。

P32シリーズZ方向/ピッチ/偏向ミラーは、2軸高速精密偏向運動とZ軸線形リフト運動を提供する。線形運動の分解能はサブナノメートルに達することができ、偏向分解能はサブマイクロラジアンに達することができ、応答時間はミリ秒オーダーに達することができる。P 32シリーズの圧電偏向ミラーはサイズが小さく、構造がコンパクトで、偏向範囲は6 mradに達することができ、Z軸線形運動範囲は37.5μmである。

高解像度、安定性、動的性

P32圧電先端/傾斜とZプラットフォームは構造がコンパクトで、内部にプリロード、高信頼性圧電アクチュエータが組み込まれており、複雑なフレキシブルヒンジガイドシステムに統合されており、このシステムは有限要素分析によりモデリングと分析を行っている。圧電アクチュエータは、従来の圧電アクチュエータよりも優れた性能と信頼性を提供する積層された共焼圧電セラミックスである。

P32は平行な動的直接駆動三脚構造を使用し、広い温度範囲で最適な角度安定性を提供している。この設計は、より小さいサイズ、同じ傾斜範囲、および2軸の動的性能、より速い応答速度、より良い線形性を有し、また偏光回転を防止し、それを産業応用の理想的な選択肢とする。