S22シリーズ圧電傾斜ステージはθx軸偏向圧電偏向ミラー/クイックミラーである。可撓性ヒンジガイドの設計は摩擦ゼロと静止抵抗ゼロ、卓越したガイド精度を有し、サブミクロンラジアン解像度と卓越した位置決め安定性を提供する。ビームの偏向範囲は6 mradに達し、応答速度は極めて速く（ミリ秒からマイクロ秒）、動的操作（追跡、走査、ドリフト、振動除去など）及び光学とサンプルの静的位置決めに最適である。
特徴
•θx軸偏向
•最大3 mradの傾斜角度
•サブミリ秒応答時間
•高閉ループ位置決め精度
適用＃テキヨウ＃
•画像処理と安定化
•レーザースキャン
•インタリーブスキャン
•光学フィルタ/スイッチ
•ビーム偏向
•サンプルテスト
取り付けとレンズ接着
S22のレンズ装填面はφ15mmの平面である。レンズはこの表面に接着により固定されている。レンズを接着して、後で使用することができます。圧電偏向ミラーを受け取った後に取り付けるだけで、いつでも利用できます。
S22.U3S底部に固定用のM 3取付ネジ穴が2つある。
構造原理と制御
S22.U3Sの運動平面はヒンジによって支持され、線形圧電アクチュエータによって推進される。ヒンジはピボット点を決定し、圧電アクチュエータの予圧力としても機能する。シングルヒンジとシングルアクチュエータ設計の利点は、構造が簡単で、サイズが小さく、性価比が高いことです。角偏向中に動作環境の温度変化が大きい場合は、コア駆動差動圧電傾斜ステージを使用することをお勧めします。
出力チャネルを有する圧電制御装置は、S 22.U 3 S圧電傾斜ステージを駆動することができる。オプションのE53.D圧電コントローラは体積が小さく、機能がそろっている。外部アナログ信号やコンピュータを介して転送できる閉ループサーボ制御機能を備えています。ソフトウェアによって制御され、操作が簡単で、統合が容易です。
技術データ
型番：S22.U3S
キャプスタンシャフト：θx
傾斜角（0 ~ 120 V）：2.5 mrad（≒520″）
傾斜角（0 ~ 150 V）：3 mrad（≒600″）
センサ：SGS
閉ループ/開ループ分解能：0.3/0.1μrad
閉ループ線形度：0.2%F.S。
閉回路繰り返し性：0.15%F.S。
空荷重共振周波数：3 kHz
閉ループ/開ループアンインストールステップ時間：3/0.8 ms
アンインストール頻度（10%ストローク）：100 Hz
アンインストール頻度（100%ストローク）：40 Hz
容量：1.8μF
材料：鋼
質量：80 g
