■ - CoreMorrowの日記

P 32シリーズの圧電クイックステアリングミラーはθxとθyの2つの軸に高速で正確な偏向運動を提供し、Z軸に線形運動を提供する。線形運動の分解能はサブナノスケールに達することができ、偏向分解能はサブマイクロラジアンに達することができ、応答時間はミリ秒レベルに達することができる。

特徴

•θx、θy、Z軸

•傾斜角度6 mrad

•サブミリ秒応答

•高閉ループ位置決め精度

適用＃テキヨウ＃

•画像処理と安定化

•光学フィルタ

•能動光学と適応光学

•レーザー走査/ビーム偏向

•ビーム安定

•ポリゴンミラーの誤差補正

動作原理

P32シリーズクイックステアリングミラーは3つの圧電アクチュエータの設計に基づいており、3つの圧電アクチュエータによって駆動され、120°の角度で配置され、座標変換を利用して、運動は異なる機構の間で制御することができる。この構造設計はプラットフォームの傾斜を実現することができるほか、プラットフォームZ方向の直線運動を実現することができ、光路長を補正することができる。ここで、A、B、Cは測定した3点変位、2軸振子角、Z変位を表す簡単な式は以下の通りである、

技術データ

-モデル：P 32

-可動軸：θx、θy、Z

-θx，θy傾斜角：5mrad@120V

-θx、θ傾斜角：6mrad@150V

-Zストローク範囲：30μm@120V

-Zストローク範囲：37.5μm@150V

-センサ：SGS

-閉ループ/開ループ分解能（θx、θy）：0.1/0.05μrad

-Zにおける閉ループ/開ループ分解能：1/0.5 nm

-線形度：0.05%F.S。

-再現性：0.02%F.S。

-空荷重共振周波数：2 kHz

-閉ループ/開ループ空荷重ステップ時間：5/2 ms

-容量：3.6μF/軸

-材料：鋼

-質量：350グラム

推奨圧電制御装置

E70は3チャンネル圧電セラミックコントローラであり、体積が小さく、電力が高く、消費電力が低く、帯域幅が高く、リップルノイズが低いという特徴がある。コントローラは専用オペアンプ回路を用いて高電圧と高電流出力能力を確保する。センササーボモジュールを最適化し、PI調整と制御の正確性と安定性を向上させた。信頼性の高い耐干渉設計により、コントローラの高周波応答速度が確保されます。

E70.D3S圧電コントローラはDC24V電源を採用し、デジタルとアナログ制御機能を集積し、オン/クローズループを選択可能、RS-232/RS-422/USB通信を選択可能、PZTとセンサミニインタフェースを集積し、接続しやすく、外部設定可能な制御機能を持ち、操作が簡単で便利である。