CoreMorrow圧電ナノプローブ台

圧電ナノプローブ台は、主に圧電モーターと圧電セラミックスによって駆動されるプローブで構成されている。新材料、新エネルギー、半導体、生物医学、基礎科学研究などの最先端分野に広く応用できる。その主な役割はナノスケールの物理測定とナノスケールの運動を完成し、三軸の正確な位置決めを実現できることである。分析機器技術の発展と応用シーンの拡大に伴い、圧電ナノプローブ台はすでに分析機器の重要な構成部分となっている。

CoreMorrow圧電ナノプローブテーブルには、さまざまな運動形式があり、運動サイズ、方向、範囲、精度、プローブモジュールの数、プローブ治具のタイプは、ご希望に応じて任意に選択できます。中心プローブプラットフォームと4つのプローブモジュールを備えたナノプローブシステムを紹介します。

CoreMorrow圧電ナノプローブ台

CoreMorrow圧電ナノプローブ台には中心プローブがあり、下図に示すように4つのナノプローブモジュールが搭載されています。

中心プローブ台はXYZ三軸運動、XY運動行程≧20 mm、Z運動行程≧20μmを行うことができる。それは低温真空環境に使用でき、温度範囲は0℃から60℃で、真空度は10 ^-4 Paである。4つのプローブモジュールはXYZ線形運動とR回転を行うことができ、XYストローク≧5 mm、Zストローク≧0.5 mm、プローブR回転は180°に達することができる。

特徴

各プローブには7つの運動寸法がある

ミリ運動とミクロン運動を結合する

Mmストローク≧20 mm

高精度≦2 nm

動作温度範囲は0℃〜60℃である

最大10 ^-4 Paの真空条件でカスタマイズ可能

運動軸、ストローク、速度、寸法、固定コネクタなど、カスタマイズ可能

適用＃テキヨウ＃

半導体業界

電気性能試験と分析

ざいりょう

新エネルギー

物理学

生物医学など。

注意：画像はネットワークから

技術データ

推奨コントローラ

E53.D E圧電制御器はCoreMorrow圧電ナノプローブ台の駆動に適している。デジタル制御、閉ループサーボまたは開ループ制御を採用し、体積が小さく、105×103×30.1 mm ^ 3しかなく、コンパクト型圧電ナノプローブ台に適しています。

詳細については、0451-86268790、17051647888（ウィーチャットID）に電話してCoreMorrowに連絡してください。